تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية إجراء معايرة يسري على الصور المسجلة عبر نطاق تكبير عريض في مجهر إلكتروني نافذ. تشتمل المواد المرجعية المستخدمة في المعايرة على هيكل دوري، مثل النسخ المحززة الحيود، وهيكل شبكة فائقة لشبه الموصل أو بلورة تحليل من أجل تحليل الأشعة السينية، وصورة شبكة بلورية للكربون أو الذهب أو السليكون. تسري هذه المواصفة القياسية الدولية على تكبير صورة مجهر إلكتروني نافذ مسجلة على رقاقة فوتوغرافية، أو قرص تصوير، أو مكتشفة بواسطة مستشعر صور مدمج في كاميرا رقمية. كما تشير هذه المواصفة القياسية الدولية إلى معايرة شريط القياس. لا يسري استخدام هذه المواصفة القياسية الدولية مع المجهر الإلكتروني النافذ لقياس الأبعاد الجوهرية، والمجهر الإلكتروني النافذ الفاحص.