تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية المصطلحات المستخدمة في تطبيق الفحص المجهري الإلكتروني التحليلي. وتشمل على كل من المفاهيم العامة والمخصصة المصنفة وفقُا للتسلسل الخاص بهم بصورة منتظمة. وتسري هذه المواصفة القياسية الدولية على جميع الوثائق القياسية المتعلقة بتطبيق AEM. بالإضافة إلى بعض الأجزاء المتعلقة بهذه المواصفة القياسية الدولية التي تسري على الوثائق المتعلقة بتطبيق المجالات ذات الصلة (مثال: TEM و STEM و SEM و EPMA وEDX) للتعريف المتعلق بهذه المصطلحات الشائعة بالنسبة لهم. ملاحظة: انظر أيضًا واجهة التصفح عبر الإنترنت التابعة لمنظمة الأيزو (OBP): https://www.iso.org/obp/ui/