يحدد هذا الجزء من المواصفة القياسية الدولية شروط السطح البيني بين المنفذ الطرفي وأنظمة المعالجة في معدات إنتاج الأنظمة الدقيقة. تحدد المواصفة الانحرافات الأساسية، التفاوتات المسموحة وتعريفات للمنفذات الطرفية القابلة للتبديل يدويًا أو آليًا. تهدف المواصفة إلى تحديد السطح البيني للمنفذ الطرفي في ثلاثة مستويات مع درجة متزايدة من التحديد.