ISO 17109:2022

مواصفة قياسية دولية   الإصدار الحالي
· اعتمدت بتاريخ 01 مارس 2022 ·

Surface chemical analysis — Depth profiling — Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

التحليل الكيميائي
* يشمل تحليل الغازات

ملفات الوثيقة ISO 17109:2022

null صفحات
الإصدار الحالي

مجال الوثيقة ISO 17109:2022

This document specifies a method for the calibration of the sputtered depth of a material from a measurement of its sputtering rate under set sputtering conditions using a single- or multi-layer reference sample with layers of the same material as that requiring depth calibration. The method has a typical accuracy in the range of 5 % to 10 % for layers 20 nm to 200 nm thick when sputter depth profiled using AES, XPS and SIMS. The sputtering rate is determined from the layer thickness and the sputtering time between relevant interfaces in the reference sample and this is used with the sputtering time to give the thickness of the sample to be measured. The determined ion sputtering rate can be used for the prediction of ion sputtering rates for a wide range of other materials so that depth scales and sputtering times in those materials can be estimated through tabulated values of sputtering yields and atomic densities.

الأكثر مبيعاً

GSO 150-2:2013
 
مواصفة قياسية خليجية
فترات صلاحية المنتجات الغذائية - الجزء الثاني : فترات الصلاحية الاختيارية
BH GSO 150-2:2015
GSO 150-2:2013 
مواصفة قياسية بحرينية
فترات صلاحية المنتجات الغذائية - الجزء الثاني : فترات الصلاحية الاختيارية
BH GSO 150-1:2015
GSO 150-1:2013 
لائحة فنية بحرينية
فترات صلاحية المنتجات الغذائية - الجزء الأول : فترات الصلاحية الإلزامية
GSO 150-1:2013
 
لائحة فنية خليجية
فترات صلاحية المنتجات الغذائية - الجزء الأول : فترات الصلاحية الإلزامية

اعتمدت مؤخراً

ISO 9111:2024
 
مواصفة قياسية دولية
Water reuse in urban areas — Guidelines for benefit evaluation of reclaimed water use
ISO 13426-2:2024
 
مواصفة قياسية دولية
Geotextiles and geotextile-related products — Strength of internal structural junctions — Part 2: Geocomposites
ISO 24566-2:2024
 
مواصفة قياسية دولية
Drinking water, wastewater and stormwater systems and services — Adaptation of water services to climate change impacts — Part 2: Stormwater services
ISO 16646:2024
 
مواصفة قياسية دولية
Fusion installations — Criteria for the design and operation of confinement and ventilation systems of tritium fusion facilities and fusion fuel handling facilities