تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية طريقتين لتحديد خصائص طرف دخول مجس مجهر القوة الذرية؛ خاصة الساق والأظرف الطرفية؛ حيث إن هذه الطرق تعمل على توضيح ظرف دخول طرف مجس مجهرة القوة الذرية على سطح مستوي؛ كما يتم توضيح خصائص ساق المجس على هذا السطح تحت ظروف تشغيل محددة؛ فالأخيرة تشير إلى الفائدة المستفادة من مجس معين في عملية قياس العمق في الفتحات الضيقة والأظرف المشابهة لها. تسري هذه المواصفة القياسية الدولية على المجسات التي أنصاف أقطارها أكبر من 5u0، حيث يمثل u0 عدم التأكد من عرض بنية الحيد في العينة المرجعية المستخدمة لتحديد خصائص المجس.